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gaas快速退火爐☁✘、GaAs快速退火爐使用注意細節

作者₪·│:admin 瀏覽量₪·│:261 來源₪·│:本站 時間₪·│:2022-09-17 13:36:20

資訊摘要₪·│:

gaas快速退火爐☁✘、GaAs快速退火爐使用注意細節↟▩↟╃│。今天瑞樂半導體科技有限公司小編為你整理分享gaas快速退火爐☁✘、GaAs快速退火爐使用注意細節╃₪,希望對你有所幫助•☁╃!

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GaAs快速退火爐的產品特點₪·│:

  1☁✘、控制電路採用模糊PID程式控制技術╃₪,控溫精度高╃₪,熱慣性小╃₪,無溫度衝擊╃₪,效能可靠╃₪,操作簡單↟▩↟╃│。
  2☁✘、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能↟▩↟╃│。高真空系統採用高壓耐衝擊分子泵╃₪,防止意外漏氣損壞分子泵╃₪,延長系統使用壽命↟▩↟╃│。
 

GaAs/GaN用快速退火爐

 

  GaAs快速退火爐使用細節₪·│:
  1☁✘、爐子使用或長期不用後╃₪,應120℃烘烤1小時╃₪,300℃烘烤2小時╃₪,以免爐裂↟▩↟╃│。
  2☁✘、爐溫儘量不要超過額定溫度╃₪,以免損壞加熱元件和爐襯↟▩↟╃│。
  3☁✘、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內╃₪,保持爐內清潔↟▩↟╃│。
  4☁✘、如果在爐內使用石英管╃₪,當溫度高於1000℃時╃₪,石英管的高溫部分會出現不透明現象╃₪,稱為失透(也稱結晶)╃₪,是連續熔化石英管的固有缺陷╃₪,屬正常現象↟▩↟╃│。
  5☁✘、冷爐在使用時╃₪,由於爐子是冷的╃₪,需要吸收大量的熱量╃₪,所以低溫段的升溫速度不易太快╃₪,各溫度段升溫速度的差異不容易太大↟▩↟╃│。設定升溫速度時╃₪,應充分考慮燒結材料的物理化學性質╃₪,以免出現噴濺汙染爐管的現象↟▩↟╃│。
  6☁✘、定期檢查溫控系統電氣連線部分是否接觸良好╃₪,特別注意加熱元件的連線點是否緊固↟▩↟╃│。
  7☁✘、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時間後╃₪,如果真空度下降╃₪,可以更換不鏽鋼法蘭盤之間的耐溫矽橡膠圈╃₪,或者重新安裝不鏽鋼法蘭盤╃₪,或者抽真空系統可以更換和維修╃₪,以提高系統的整體真空度↟▩↟╃│。


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