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gan快速退火爐☁₪,GaN快速退火爐使用注意細節

作者╃✘:admin 瀏覽量╃✘:366 來源╃✘:本站 時間╃✘:2022-09-17 13:29:13

資訊摘要╃✘:

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GaAs/GaN用快速退火爐的產品特點╃✘:

  1│₪₪↟、控制電路採用模糊PID程式控制技術☁₪,控溫精度高☁₪,熱慣性小☁₪,無溫度衝擊☁₪,效能可靠☁₪,操作簡單☁↟。
  2│₪₪↟、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能☁↟。高真空系統採用高壓耐衝擊分子泵☁₪,防止意外漏氣損壞分子泵☁₪,延長系統使用壽命☁↟。
 

GaAs/GaN用快速退火爐

 

  GaAs/GaN用快速退火爐使用細節╃✘:
  1│₪₪↟、爐子使用或長期不用後☁₪,應120℃烘烤1小時☁₪,300℃烘烤2小時☁₪,以免爐裂☁↟。
  2│₪₪↟、爐溫儘量不要超過額定溫度☁₪,以免損壞加熱元件和爐襯☁↟。
  3│₪₪↟、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內☁₪,保持爐內清潔☁↟。
  4│₪₪↟、如果在爐內使用石英管☁₪,當溫度高於1000℃時☁₪,石英管的高溫部分會出現不透明現象☁₪,稱為失透(也稱結晶)☁₪,是連續熔化石英管的固有缺陷☁₪,屬正常現象☁↟。
  5│₪₪↟、冷爐在使用時☁₪,由於爐子是冷的☁₪,需要吸收大量的熱量☁₪,所以低溫段的升溫速度不易太快☁₪,各溫度段升溫速度的差異不容易太大☁↟。設定升溫速度時☁₪,應充分考慮燒結材料的物理化學性質☁₪,以免出現噴濺汙染爐管的現象☁↟。
  6│₪₪↟、定期檢查溫控系統電氣連線部分是否接觸良好☁₪,特別注意加熱元件的連線點是否緊固☁↟。
  7│₪₪↟、GaAs/GaN用快速退火爐使用一段時間後☁₪,如果真空度下降☁₪,可以更換不鏽鋼法蘭盤之間的耐溫矽橡膠圈☁₪,或者重新安裝不鏽鋼法蘭盤☁₪,或者抽真空系統可以更換和維修☁₪,以提高系統的整體真空度☁↟。


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