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真空快速退火爐儀器和真空快速退火爐應用領域

作者▩•↟:admin 瀏覽量▩•↟:259 來源▩•↟:本站 時間▩•↟:2022-09-17 12:24:39

資訊摘要▩•↟:

真空快速退火爐儀器和真空快速退火爐應用領域真空快速退火爐儀器特點▩•↟:- 真空快速退火爐◕✘·▩₪,有低真空型號(10-3 hPa)▩•▩✘•、高真空型號(10-6 hPa);- 可在不同氣氛環境下使用◕✘·▩₪,如惰性氣體▩•▩✘•、氧氣▩•▩✘•、氫氮混合氣等;- 控制方式▩•↟:SIMATIC, SPS人機介面控制◕✘·▩₪,7英寸觸控式螢幕;- 可儲存50個程式◕✘·▩₪,每個程式最多分為50段控制;- 全自動智慧控制◕✘·▩₪,

真空快速退火爐儀器和真空快速退火爐應用領域



真空快速退火爐儀器特點▩•↟:

- 真空快速退火爐◕✘·▩₪,有低真空型號(10-3 hPa)▩•▩✘•、高真空型號(10-6 hPa);

- 可在不同氣氛環境下使用◕✘·▩₪,如惰性氣體▩•▩✘•、氧氣▩•▩✘•、氫氮混合氣等;

- 控制方式▩•↟:SIMATIC, SPS人機介面控制◕✘·▩₪,7英寸觸控式螢幕;

- 可儲存50個程式◕✘·▩₪,每個程式最多分為50段控制;

- 全自動智慧控制◕✘·▩₪,包括溫度▩•▩✘•、時間▩•▩✘•、氣體流量▩•▩✘•、真空度▩•▩✘•、迴圈水均可自動設定;

- 優異的溫控均勻性◕✘·▩₪,極佳的工藝重現性;

- 小尺寸臺式設計;


 


真空快速退火爐應用領域▩•↟:

- 離子注入/接觸退火;

- 快速熱處理(RTP)◕✘·▩₪,快速退火(RTA)◕✘·▩₪,快速熱氧化(RTO)◕✘·▩₪,快速熱氮化(RTN);

- 可在真空▩•▩✘•、惰性氣氛▩•▩✘•、氧氣▩•▩✘•、氫氣▩•▩✘•、混合氣等不同環境下使用;

- SiAu, SiAl, SiMo合金化;

- 低介電材料;

- 晶體化◕✘·▩₪,緻密化;

- 太陽能電池片鍵合;

等等...


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